機械の研究 2020年11月1日発売第72巻第11号

機械の研究 2020年11月1日発売第72巻第11号

機械の研究 2020年11月1日発売第72巻第11号

2,750円（税込）

本誌「機械の研究」は、1949年（昭和24年）、それまでの
機械工学の概念を脱却して、工学・工業の一環としての機
械工学に関する新しい研究と技術の進歩を提供する事をそ
の主眼に創刊した月刊誌です。工学全般・工業に関連した
研究分野において、最新かつ重要な学理および興味深い研
究成果を平易に解説しています。

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カテゴリー: すべての雑誌, 機械の研究

判型	B5判
発行日	2020/11/01
JAN	4910028171100

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説明

巻頭記事「加工・造形不良と不確かさを考慮したモデリングと品質保証」

半導体デバイス基板のシリコンウェーハには高い平坦性が求められており、先端デバイス向けの直径300 mmのウェーハの場合、数百nmの凹凸も許されないほどの仕様が主流となっている。

一方、ウェーハは年間１億枚以上も生産される超量産品であり、そのためその加工工程には高い歩留まりが求められる。しかし、ウェーハの高平坦化を担う両面ポリシング加工は、その加工方式上、加工条件と平坦性との関係が単純でなく、加工条件のこまめな調整に依存しているのが現状である。

本稿では、両面ポリシングの加工方式に由来する高平坦化の難しさについて、筆者らの最近の研究内容を交えながら解説する。

大阪大学大学院工学研究科助教
佐竹うらら

目次

展望・総説・解説

シリコンウェーハの両面ポリシング加工におけるウェーハの高平坦化

大阪大学大学院工学研究科助教
佐竹うらら

連載講座

詳しく学ぶねじ締結の基礎（21）～（23）
第４部ねじ締結部の信頼性評価時の留意事項（１）～（３）

酒井ねじ締結相談室室長工学博士
日本機械学会フェロー
酒井智次

データで学ぶ超耐熱合金切削の基礎技術とトラブル対策（21）
第７章正面フライス切削の基礎技術（３）

ものづくり人材育成塾難削材切削技術研究所
狩野勝吉

CFDの基礎講座（34）
疑似（mimetic）離散ナブラ演算子法と双対格子その２

慶應義塾大学名誉教授
棚橋隆彦

産業安全工学（36）
安全倫理（３）

有明工業高等専門学校創造工学科教授
堀田源治

機械構造用金属材料の超高サイクル疲労（29）
6. VHCF–2～VHCF–4の10年間の研究動向（９）

立命館大学名誉教授
酒井達雄

流体シミュレーション・ソフトウェア講座
Flowsquare+による数値熱流体力学（３）

Nora Scientific 代表
東京工業大学工学院助教
源　勇気

パリ協定以降の世界と日本のエネルギー動向（31）
電力貯蔵システムの課題と展望その３

一般財団法人航空宇宙技術振興財団評議員
伊藤義康

コラム：一杯のコーヒーから（166）

COVID-19　好機？　危機？

Stanford University visiting professor
慶應義塾大学顧問
福田収一

工学・工業界ニュース

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