説明
巻頭記事「次世代半導体リソグラフィの現状と展望」
次世代半導体リソグラフィはどうなるのか。
最先端で研究を続けてきた東芝メモリ株式会社の
シニアフェロー、東木氏が丁寧に解説します。
次世代の半導体リソグラフィの動向を俯瞰しつつ、
ナノインプリントリソグラフィの量産展開に向けた
現状の開発状況と技術課題、今後の展望に関して述べる。
(東芝メモリ株式会社)東木 達彦
2,750円 (税込)
本誌「機械の研究」は、1949年(昭和24年)、それまでの
機械工学の概念を脱却して、工学・工業の一環としての機
械工学に関する新しい研究と技術の進歩を提供する事をそ
の主眼に創刊した月刊誌です。工学全般・工業に関連した
研究分野において、最新かつ重要な学理および興味深い研
究成果を平易に解説しています。
次世代半導体リソグラフィはどうなるのか。
最先端で研究を続けてきた東芝メモリ株式会社の
シニアフェロー、東木氏が丁寧に解説します。
次世代の半導体リソグラフィの動向を俯瞰しつつ、
ナノインプリントリソグラフィの量産展開に向けた
現状の開発状況と技術課題、今後の展望に関して述べる。
(東芝メモリ株式会社)東木 達彦
次世代半導体リソグラフィの現状と展望/東木達彦
固体金属水素の合成を目指す高温・高圧装置/川島康
多自由度機械の運動制御/島田明
折紙工学の新展開(前編)/萩原一郎
4次元時空間のベクトル解析(4)/棚橋隆彦
機械構造用金属材料の超高サイクル疲労(1)/酒井達雄
材料と設計(82)71.藻類によるバイオ燃料とエネルギー開発(前編)/宮入裕夫
産業安全工学(4)―産業安全の歴史と現状―/堀田源治
Transdisciplinary Engineering (TE) 2017(2)/福田収一
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