機械の研究 2018年1月1日発売第70巻第1号

機械の研究 2018年1月1日発売第70巻第1号

機械の研究 2018年1月1日発売第70巻第1号

2,750円（税込）

本誌「機械の研究」は、1949年（昭和24年）、それまでの
機械工学の概念を脱却して、工学・工業の一環としての機
械工学に関する新しい研究と技術の進歩を提供する事をそ
の主眼に創刊した月刊誌です。工学全般・工業に関連した
研究分野において、最新かつ重要な学理および興味深い研
究成果を平易に解説しています。

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カテゴリー: すべての雑誌, 機械の研究

判型	B5判
発行日	2018/01/01
JAN	4910028170189

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説明

巻頭記事「次世代半導体リソグラフィの現状と展望」

次世代半導体リソグラフィはどうなるのか。
最先端で研究を続けてきた東芝メモリ株式会社の
シニアフェロー、東木氏が丁寧に解説します。

次世代の半導体リソグラフィの動向を俯瞰しつつ、
ナノインプリントリソグラフィの量産展開に向けた
現状の開発状況と技術課題、今後の展望に関して述べる。

（東芝メモリ株式会社）東木達彦

目次

展望・総説・解説

次世代半導体リソグラフィの現状と展望／東木達彦
固体金属水素の合成を目指す高温・高圧装置／川島康
多自由度機械の運動制御／島田明
折紙工学の新展開（前編）／萩原一郎

連載講座

4次元時空間のベクトル解析（４）／棚橋隆彦
機械構造用金属材料の超高サイクル疲労（１）／酒井達雄
材料と設計（82）71．藻類によるバイオ燃料とエネルギー開発（前編）／宮入裕夫
産業安全工学（４）―産業安全の歴史と現状―／堀田源治

コラム：一杯のコーヒーから（133）

Transdisciplinary Engineering (TE) 2017（２）／福田収一

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